Конструкция камеры
Габариты, крышка, способ загрузки и доступ для обслуживания.
Вакуумные покрытия
Камеры и корпуса для вакуумного нанесения покрытий
Прорабатываем корпус, рабочий объём, порты и компоновку по требованиям вашей технологической установки.
Для первого расчёта достаточно процесса, габаритов и требуемого вакуума или давления
В фокусе / PVD и покрытия
Соберём геометрию будущей установки
Корпус → порты → технологические узлы
В камере нанесения покрытий пространство занимают не только детали. Требуются места для источников, держателей, экранов и коммуникаций. Работаем от компоновочной схемы, определяя границы поставки корпуса и его узлов.
- 01Внутренняя компоновка
- Подложки, держатели, источники и зоны доступа для обслуживания.
- 02Расположение портов
- Насосная линия, газ, электрические вводы и наблюдение за процессом.
- 03Условия работы корпуса
- Температуры, материалы, уплотнения и требования к подготовке поверхности.
01 / Порядок работы
Как мы работаем
- 01
Сбор исходных данных
Уточняем процесс, габариты, рабочую среду и требуемый вакуум.
- 02
Проектирование и изготовление
Выпускаем чертежи стандартной камеры или камеры по вашему техническому заданию.
- 03
Подбор вакуумного оборудования
Подбираем насос, клапаны и соединения под объём камеры и требуемый вакуум.
- 04
Проверка перед отгрузкой
Проверяем сборку и работу оборудования перед передачей заказчику.
02 / Задача
Под ваш процесс
Ведем задачу как специальный проект и не подменяем расчет камеры обещанием готовой PVD-линии.
Что нужно обеспечить
- 01
Специальная геометрия корпуса
- 02
Порты под оборудование
- 03
Интеграция с оснасткой
Что обычно мешает
- 01
Узлы установки зависят друг от друга
- 02
Недостаток места для трубопроводов
- 03
Меняющиеся требования
Для предварительного расчёта
Какие исходные данные нужны инженеру
- 01
Процесс покрытия и размеры рабочей зоны
- 02
Базовое и рабочее давление
- 03
Процессные газы и требования к чистоте
- 04
Карта портов, фланцев, источников, датчиков и оснастки
03 / Инженерия
Камера и оборудование
Насос и арматура
Подбираем насос, клапаны, соединения и защиту оборудования.
Подключения
Указываем порты, вводы, окна и места подключения к вашей установке.
Проектируем корпус, подбираем насос и арматуру, указываем порты и соединения в одной спецификации.
Проверка / ДокументыПосмотрите,
Посмотрите,
как мы испытываем камеры.
Реальная камера на испытании. Документы на оборудование. Всё, что помогает предметно обсудить вашу задачу с инженером.
Проверка герметичности · 1 минута
Опыт заказчика / 2025Камера и насос
Камера и насос
для «Свечного двора»
Поставка вакуумной камеры ММ-V93-LE и насоса VSV-20. Заказчик отметил качество оборудования и его интеграцию в свой технологический процесс.
Читать благодарственное письмо
Документы
на оборудование
Откройте сканы в полном размере. Применимость декларации к выбранной модели уточним при подготовке предложения.
Приложение к декларацииПеречень моделей · лист 1Открыть скан 
Приложение к декларацииПеречень моделей · лист 2Открыть скан 04 / Испытательная база
Контроль и испытания
Контроль герметичности
Специалист аттестован по ПВТ и течеисканию с правом выдачи заключений.
Чувствительность течеискания
м³·Па/с на масс-спектрометрическом гелиевом оборудовании.
Прямоугольные корпуса
Габариты в миллиметрах; цилиндрические камеры — диаметром до 1000 мм.
Аттестация лаборатории
Свидетельство № ЛНК-095А0036 на контроль герметичности.
05 / Результат
Что входит в предложение
После уточнения исходных данных подготовим расчёт, перечень оборудования и техническое предложение.
Эскиз корпуса
Схема расположения портов
Оценка стоимости и срока
06 / Отрасли
Оборудование для других задач
Для каждой отрасли указаны типовые задачи, исходные данные и состав оборудования.
01СудостроениеОткрыть отраслевую страницу02ТермообработкаОткрыть отраслевую страницу03Авиация и космосОткрыть отраслевую страницу04МеталлургияОткрыть отраслевую страницу05ДегазацияОткрыть отраслевую страницу06ЭлектроникаОткрыть отраслевую страницу07КомпозитыОткрыть отраслевую страницу08ЛабораторииОткрыть отраслевую страницу
07 / Перед расчётом
До расчёта важно уточнить
Если вопроса нет в списке, приложите схему или опишите процесс в свободной форме.
Вы предлагаете корпус или полный процесс нанесения покрытия?+
На этой странице рассматриваем камеру, корпус и согласованные узлы по ТЗ. Источники, рецептура покрытия, автоматика и приёмка технологического результата должны быть явно указаны и подтверждены в составе проекта.
С чего начинается оценка применимости?+
С описания процесса, изделия и границ поставки. После проверки исходных данных мы подтвердим, можем ли предложить конструкцию камеры для этой задачи.
Что нужно для предварительного подбора?+
Опишите процесс, габариты изделия, желаемый цикл и требования к вакууму. Схему или ТЗ можно приложить к заявке.
Запрос инженеру
Рассчитаем вашу камеру
Оставьте телефон или почту, опишите процесс и приложите ТЗ или чертёж.